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      >EM13 LD系列多入射角激光橢偏儀

      EM13 LD系列多入射角激光橢偏儀

      直接聯(lián)系

      北京賽凡光電儀器有限公司

      北京

      產(chǎn)品規(guī)格型號
      參考報(bào)價(jià):

      面議

      關(guān)注度:

      1065

      產(chǎn)品介紹

      EM13LD 系列是采用先進(jìn)的測量技術(shù),針對普通精度需求的研發(fā)和質(zhì)量控制領(lǐng)域推出的多入射角激光橢偏儀。

      EM13LD系列采用半導(dǎo)體激光器作為光源,可在單入射角度或多入射角度下對樣品進(jìn)行準(zhǔn)確測量。可用于測量單層或多層納米薄膜樣品的膜層厚度、折射率n和消光系數(shù)k;也可用于同時(shí)測量塊狀材料的折射率n和消光系數(shù)k;亦可用于實(shí)時(shí)測量納米薄膜動(dòng)態(tài)生長中膜層的厚度、折射率n和消光系數(shù)k。多入射角度設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了納米薄膜的**厚度測量。
      EM13LD系列采用了量拓科技多項(xiàng)**技術(shù)。

      特點(diǎn)

      • 次納米的高靈敏度

        國際先進(jìn)的采樣方法、穩(wěn)定的核心器件、高質(zhì)量的制造工藝實(shí)現(xiàn)并保證了能夠測量極薄納米薄膜,膜厚精度可達(dá)到0.5nm。
      • 3秒的快速測量

        國際水準(zhǔn)的儀器設(shè)計(jì),在保證精度和準(zhǔn)確度的同時(shí),可在3秒內(nèi)快速完成一次測量,可對納米膜層生長過程進(jìn)行測量。
      • 簡單方便的儀器操作

        用戶只需一個(gè)按鈕即可完成復(fù)雜的材料測量和分析過程,數(shù)據(jù)一鍵導(dǎo)出。豐富的模型庫、材料庫方便用戶進(jìn)行高級測量設(shè)置。

      應(yīng)用:

      • EM13LD系列適合于普通精度要求的科研和工業(yè)環(huán)境中的新品研發(fā)或質(zhì)量控制。
      • EM13LD系列可用于測量單層或多層納米薄膜層構(gòu)樣品的薄膜厚度、折射率n及消光系數(shù)k;可用于同時(shí)測量塊狀材料的折射率n和消光系數(shù)k;可用于實(shí)時(shí)測量快速變化的納米薄膜的厚度、折射率n和消光系數(shù)k。
      • EM13LD可應(yīng)用的納米薄膜領(lǐng)域包括:微電子、半導(dǎo)體、集成電路、顯示技術(shù)、太陽電池、光學(xué)薄膜、生命科學(xué)、化學(xué)、電化學(xué)、磁質(zhì)存儲(chǔ)、平板顯示、聚合物及金屬表面處理等。可應(yīng)用的塊狀材料領(lǐng)域包括:固體(金屬、半導(dǎo)體、介質(zhì)等),或液體(純凈物或混合物)。

      技術(shù)指標(biāo):

      項(xiàng)目
      技術(shù)指標(biāo)
      儀器型號
      EM13 LD/635 (或其它選定波長)
      激光波長
      635 nm (或其它選定波長,高穩(wěn)定半導(dǎo)體激光器)
      膜厚測量重復(fù)性1)
      0.5nm (對于平面Si基底上100nm的SiO2膜層)
      折射率測量重復(fù)性1)
      5x10-3 (對于平面Si基底上100nm的SiO2膜層)
      單次測量時(shí)間
      與測量設(shè)置相關(guān),典型3s
      **的膜層范圍
      透明薄膜可達(dá)1000nm
      吸收薄膜則與材料性質(zhì)相關(guān)
      光學(xué)結(jié)構(gòu)
      PSCA(Δ在0°或180°附近時(shí)也具有極高的準(zhǔn)確度)
      激光光束直徑
      2mm
      入射角度
      40°-90°可手動(dòng)調(diào)節(jié),步進(jìn)5°
      樣品方位調(diào)整
      Z軸高度調(diào)節(jié):±6.5mm
      二維俯仰調(diào)節(jié):±
      樣品對準(zhǔn):光學(xué)自準(zhǔn)直和顯微對準(zhǔn)系統(tǒng)
      樣品臺(tái)尺寸
      平面樣品直徑可達(dá)Φ170mm
      **外形尺寸
      887 x 332 x 552mm (入射角為90º時(shí))
      儀器重量(凈重)
      25Kg
      選配件
      水平XY軸調(diào)節(jié)平移臺(tái),真空吸附泵
      軟件(ETEM)
      * 中英文界面可選
      * 多個(gè)預(yù)設(shè)項(xiàng)目供快捷操作使用
      * 單角度測量/多角度測量操作和數(shù)據(jù)擬合
      * 方便的數(shù)據(jù)顯示、編輯和輸出
      * 豐富的模型和材料數(shù)據(jù)庫支持
      注:(1)測量重復(fù)性:是指對標(biāo)準(zhǔn)樣品上同一點(diǎn)、同一條件下連續(xù)測量30次所計(jì)算的標(biāo)準(zhǔn)差。

      性能保證:

      • 穩(wěn)定性的半導(dǎo)體激光光源、先進(jìn)的采樣方法,保證了穩(wěn)定性和準(zhǔn)確度
      • 高精度的光學(xué)自準(zhǔn)直系統(tǒng),保證了快速、高精度的樣品方位對準(zhǔn)
      • 穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、可靠的樣品方位對準(zhǔn),結(jié)合先進(jìn)的采樣技術(shù),保證了快速、穩(wěn)定測量
      • 分立式的多入射角選擇,可應(yīng)用于復(fù)雜樣品的折射率和**厚度的測量
      • 一體化集成式的儀器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),使得系統(tǒng)操作簡單、整體穩(wěn)定性提高,并節(jié)省空間
      • 一鍵式軟件設(shè)計(jì)以及豐富的物理模型庫和材料數(shù)據(jù)庫,方便用戶使用

      可選配件:

      • NFS-SiO2/Si二氧化硅納米薄膜標(biāo)片
      • NFS-Si3N4/Si氮化硅納米薄膜標(biāo)片
      • VP01真空吸附泵
      • VP02真空吸附泵
      • 樣品池

      產(chǎn)品咨詢

      EM13 LD系列多入射角激光橢偏儀

      北京賽凡光電儀器有限公司

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