儀器簡介：

NTEGRA Spectra

是一款獨特的集成了掃描探針顯微鏡、激光共聚焦/熒光顯微鏡和拉曼光譜儀的系統。其強大的TERS效應，可在得到拉曼光譜的同時獲得高達50nm的成像分辨率。

只有NTEGRA Spectra能在軟件、硬件等技術方面為集成Renishaw的拉曼光譜系統提供**的方案，以便用戶能在分子水平上用不同的技術手段來分析、研究樣品。這樣的集成，能讓用戶極大的提高工作效率，將更多的時間用于數據采集和分析，而無需為繁瑣的儀器操作而苦惱。所以，可以負責任的說：真正的集成是遠遠優于簡單的組合的。

激光共聚焦顯微鏡/拉曼光譜儀系統

NTEGRA Spectra 系統集成了激光掃描共焦光譜儀、光學顯微鏡和常規的掃描探針顯微鏡。該系統能用于發光光譜和拉曼散射的三維成像、所有的SPM功能，包括納米壓痕、納米加工和納米刻蝕等。.

掃描探針顯微鏡

除了光學檢測外，NTEGRA Spectra還可使用SPM的方法來研究樣品，諸如：AFM、MFM、STM、SNOM、力譜等等。這樣獨特的集成了光學方法和掃描探針方法合二為一的系統，為用戶完成復雜的實驗變成可能，用戶可從實驗中得到樣品的光學分布信息、化學性質、力學性質、電學性質和磁學性質等。

用超越激光衍射極限的系統來研究樣品

NTEGRA Spectra 在檢測樣品時，能提供超越激光光學衍射的光學分辨率。近場光學顯微鏡和TERS系統能讓用戶得到光學性質分布圖（激光傳輸、散射和偏振等）的同時獲得拉曼散射光譜和高達50nm的XY方向分辨率。

技術參數：

共聚焦顯微鏡光學模塊 正置或倒置光學顯微鏡觀測系統

可見光譜測量 (390-800nm)

激發光路中配置手動式格蘭-泰勒起偏棱鏡 390-1000nm

檢測光路中配置電動式格蘭-泰勒檢偏棱鏡 390-1000nm

三軸定位電動式1/2波片

光束分離器

可選配倏逝激發系統（用于TERS）

光學分辨率 XY： 200nm

Z：500nm

掃描模塊 **樣品質量：1000g

**掃描范圍：100x100x25 um

XYZ三維全量程閉環控制掃描系統

XY方向非線性度：0.03 % （典型值）

Z方向噪音水平：<0.2 nm （典型值）

XY方向噪音水平：<0.5 nm（典型值）

共聚焦針孔 直徑0~1.5mm可調，步進0.5 um

注：無論樣品是否透明，都可用我們的共聚焦顯微鏡在空氣或液體環境中對其進行研究。

拉曼光譜儀

光譜儀焦長 520 mm

激光器波長* 441， 488， 514， 532， 633 nm

雜散光抑制 10^-5，（20nm 用632nm激光器 ）

平場面積 28 mm x 10 mm

光譜分辨率 0.025 nm (1200 l/mm光柵**)

端口 1輸入，2輸出

光柵座 4孔轉盤（3 個光柵+“直接成像”模式用的反射鏡）

探測器 CCD：光譜響應范圍：200–1000 nm，電冷裝置冷卻至–80°C，500nm時95% 量子效率

用于光子計數的APD***：光譜相應范圍：400–1000 nm，暗計數=25/秒，提供高達1GHz計算速度的PCI 卡。 * 標準配置中包括一套488 nm激光器，其他波長激光器可選配

** 可選配其他光柵。小階梯光柵具有**的光譜分辨率

***可選用PMT

掃描近場光學顯微鏡

功能模式：剪切力成像/SNOM反射模式，透射模式，熒光模式（選配）

激光模塊 耦合裝置：X-Y-Z 定位器，定位精度1 um

V型槽光纖固定器

裝配40x物鏡

光纖傳輸系統 KineFlex^TM

光束衰減器：可配多種減光鏡

剪切力成像 樣品尺寸：**直徑100mm，**厚度15mm

XY二維樣品移動平臺：樣品定位范圍5x5mm，樣品定位精度5um

XYZ三維全量程閉環控制掃描系統

樣品掃描式 針尖掃描式

掃描范圍 100x100x25 um 100x100x7 um

非線性度 XY 0.03 %（典型值） <0.15%

噪音水平 Z <0.2 nm（典型值） 0.04nm（典型值），<=0.06nm

噪音水平 XY <0.5 nm（典型值） 0.2 nm（典型值），<=0.3 nm

石英音叉基頻 190 kHz

光纖孔徑 <100nm

可同時采集的數據通道 反射模式

透射模式/熒光模式

PMT 光譜響應范圍：185-850 nm

靈敏度：3x10¹⁰，420 nm時

隔振系統 主動式：0.7-1000 Hz

被動式：大于1 kHz

掃描探針顯微鏡

功能模式：AFM（接觸+半接觸+非接觸）/側向力模式/相位成像模式/力調制模式/粘滯力成像/磁力顯微鏡/靜電力顯微鏡/掃描電容顯微鏡/掃描開爾文探針顯微鏡/擴展電阻成像模式/刻蝕：AFM（力和電流）

樣品尺寸* **直徑100mm，**厚度15mm

掃描范圍 50x50x5 um

閉環控制系統** XYZ三維全量程閉環控制掃描系統，采用電容傳感器

非線性度 XY <0.15%

噪音水平 Z 0.06 nm（典型值），<=0.07nm

噪音水平 XY 0.1 nm（典型值），<=0.2 nm (XY 50 um)

*掃描頭部可單獨使用，此時對樣品尺寸和重量無限制

**內置的電容傳感器擁有極低的噪音水平，即使降到50x50 nm的區域也可以用閉環控制來掃描

主要特點：

AFM探針和激光光斑**的同步協調。AFM探針可在納米級的精度上定位于激光光斑中—在TERS中，這是必要的條件。在激光掃描和樣品掃描的6個軸中，全部采用全量程閉環控制系統。

高數值孔徑的光學物鏡和SPM系統緊密的集成在一起，讓系統的光學穩定性達到****的高度—為長程和微弱的信號而設計。

反射模式的激光光路可用于激光共聚焦成像。

電冷至-70°C的CCD，用于光譜探測和成像。

也可選用APD來進行光子計數。

在激發通道和檢測通道中，用戶可靈活方便的配置偏光光路。

多功能的集成軟件控制系統，所有的系統模塊包括AFM、光路系統和機械系統都由統一的軟件來控制。激光器、光柵、針孔等等，都可由軟件來切換或調節。

NT-MDT可根據用戶需求定制不同使用需求的TERS系統。