儀器簡介：NTEGRA平臺是一個革命性的技術概念，在擁有所有SPM技術：原子力/磁力/靜電力/表面電勢/導電原子/掃描電容/壓電力/納米刻蝕等功能的同時，還能配備近場光學顯微鏡/共聚焦拉曼/外加磁場/超聲原子力/納米壓痕等功能！。Prima則是這個平臺中的基礎SPM，可以在此基礎上根據科 研需求提供多達40 中SPM 功能，其中的每種功能都有一套在其專業領域有著杰出表現的獨特配置?？蛇x擇配備****的雙掃描結構可以將掃描范圍擴展**到200x200um。

技術參數：在大氣環境下：掃描隧道顯微鏡/ 原子力顯微鏡(接觸 +半接觸+非接觸)/橫向力顯微鏡/相位成像/力調制/力譜線/粘附力成像/磁力顯微鏡/靜電力顯 微鏡/掃描電容顯微鏡/開爾文探針顯微鏡/擴展電阻成像/納米壓痕/刻蝕: 原子力顯微鏡(電壓+力)/壓電力模式/超聲原子力/外加磁場/溫度控制/氣氛控制等功能。

在液體環境下：原子力顯微鏡(接觸+半接觸+非接觸)/橫向力顯微鏡/相位成像/力調制/粘附力成像/力譜/刻蝕:

測量頭部：AFM和SPM可選配液相模式和納米壓痕測量頭

掃描方式：樣品掃描、針尖掃描、雙掃描

**樣品尺寸：樣品掃描：直徑40mm，厚度15mm。針尖掃描：樣品無限制

XY樣品定位裝置：移動范圍5×5um，精度5um

掃描范圍：90×90×9um（帶傳感器/閉環控制），可選配低電壓模式實現原子級分辨

XY方向非線性度：≤0.5%（帶傳感器/閉環控制）

Z方向噪音水平（帶寬1000Hz時的RMS值）：閉環控制掃描器（典型值0.04nm，**0.06nm）

光學顯微系統：配備高數值孔徑物鏡后，分辨率可由3um提升至1um

樣品溫度控制：室溫~300℃

主要特點：

Ntegra Prima 是一個基本的SPM 系統，在這平臺上可以根據科研需要提供40 種SPM 功能。

Ntegra Aura 是一款能在氣氛控制以及低真空環境下工作的SPM，專門用于電磁等測量。

Ntegra Therma 只有10nm/h 熱漂移能長時間可靠工作，并且能在-30℃~300℃環境下測量。

Ntegra Maximus 能夠測量100mm 的大樣品，在半自動模式下可以連續工作。

Ntegra Solaris 是一款近場光顯微鏡，能夠提供所有近場探測模式，從而突破衍射極限。

Ntegra Vita 能與倒置顯微鏡聯用，專門用于生物方面的檢測。

Ntegra Tomo 能與超薄切片機聯用，且制備用于研究的納米片層的新鮮表面（也適用于電鏡）。

Ntegra Spectra 集成了AFM-SNOM-Confocal-Raman 從而實現針尖增強（TERS）