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產品型號：

XPS

產品介紹：

XPS 作為一種重要的表面分析方法，廣泛應用于固體材料表面的元素組分和化學態的研究，例如電池材料、催化劑、集成電路、半導體、金屬、聚合物、陶瓷和玻璃等，可滿足從研發到失效分析的廣泛分析需求。

VersaProbe4 采用了全新設計的高靈敏度分析器，靈敏度是上一代的2倍，具有更低的檢測限，能夠實現從微區 (<10 um) 到大面積(>1 mm) 的高靈敏度化學態分析。

獨特的微聚焦掃描X射線和SXI影像，通過類似SEM的SXI影像可以作為樣品導航，實現100%精準地定義微區分析位置。

*SXI (Scanning X-ray Image): 掃描X射線激發的二次電子影像

產品特性：

1. 全新設計的高靈敏度和低噪音能量分析器

2. 使用微區XPS分析技術進行準確的深度剖析

3. 無需參數調整即可滿足任何絕緣樣品微區分析的荷電中和需求

4. 遠程訪問實現對儀器的遠程控制

5. 自動化和遠程控制提供靈活的工作環境

6. 用于AES分析的掃描電子槍配件

7. 專用REELS電子槍

8. Ar團簇離子槍（Ar-GCIB）

9. UPS（紫外光電子能譜）LEIPS（低能量反光電子能譜）配件

10. 冷熱變溫樣品臺

11. 4觸點冷熱變溫樣品臺

12. 雙陽極X射線源

13. 可拓展的樣品進樣室

14. 樣品傳送管

15. 樣品預處理室

產品技術參數：