Ushio手動光刻設備UPE-1102LU主要應用于LED芯片（藍白光，紅黃光）研發和生產當中，并且對全自動生產線所產生的LED芯片破片有輔助生產和處理的功能。同時也能對應一些較為特殊材質的芯片如：GaAs，SiO2的研發及生產。

特點：

*可調整光刻間距，**限度的避免光刻板被污染。

*操作簡易，任何操作人員都能在短時間內熟練掌握。

*產能高于一般同行業競爭對手，**可達80WPH；

*可調整光刻時間，調整光強，并可根據所需累計光量值自動補償光刻時間（無需人工調整）。

*更具客戶端的光刻工藝，可預先設定光刻頻道，可**限度避免人為誤操作的產生。

應用：

*LED，半導體的芯片生產和研發。