PCE-6V小型等離子清洗機集成了RF等離子體發生技術、計算機控制技術、軟件編程技術，采用氣體作為清洗介質，有效地避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染。工作時外接一臺真空泵，清洗腔內的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面，可短時間內徹底清洗掉有機污染物，清洗程度可達到分子級。另外，其樣品臺可選配加熱功能，可加負偏壓，用以實現離子蝕刻。此外，其可在特定條件下根據需要改變某些材料表面的性能。

主要特點

1、采用氣體作為清洗介質，避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染。

2、可短時間內徹底清洗掉有機污染物。

3、清洗程度可達到分子級。

4、可在特定條件下根據需要改變某些材料表面的性能。

5、清洗過程中的輝光放電可對某些特殊用途的材料加強粘附性、相容性和浸潤性，并可消毒和殺菌。

6、樣品臺可選配加熱功能，可加負偏壓，用以實現離子蝕刻。

7、廣泛應用于光學、光電子學、電子學、材料科學、生命科學、高分子科學、生物醫學、微觀流體學等領域。

技術參數

1、電壓：AC220V 10A

2、消耗功率：<500W（包括真空泵）

3、RF電源：輸出功率100W，輸出頻率13.56MHz

4、腔體：Φ190mm×98mm

5、石英管：Φ180mm×55mm，壁厚7mm

6、內腔：Φ165mm×55mm

7、清洗電極：Φ120mm

8、樣品臺：Φ150mm，有效尺寸Φ140mm

9、樣品臺與電極間距：15mm-50mm可調

10、抽氣管：Φ12mm

11、極限真空度：0.1Pa

12、工作真空度：60Pa-500Pa

13、氣路數量：2路（選裝）

14、流量控制器數量：1、2

15、流量顯示儀：2通道

16、氣路接口：Φ6mm

17、加熱樣品臺：Φ140mm，加熱樣品溫度RT-600℃±1℃（選裝）

18、冷卻水壓力：0.2KPa-0.4KPa

19、工作環境：溫度5℃-35℃，濕度<80%（相對濕度）不結露，海拔高度0-2000m

產品規格

尺寸：245mm×235mm×460mm（不含真空泵）

重量：20kg（不含真空泵）

可選配件

1、加熱樣品臺

2、流量控制器（量程10、50、100，*多可增加2個通道）