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      >VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

      VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

      直接聯(lián)系

      沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司

      遼寧

      產(chǎn)品規(guī)格型號
      參考報價:

      面議

      關(guān)注度:

      1200

      產(chǎn)品介紹

      VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。設(shè)備標(biāo)配兩個不同大小的真空吸盤,可根據(jù)樣品尺寸不同選擇不同的真空吸盤。VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)工作時利用真空盤吸附的方式將樣品固定在載樣盤上,該設(shè)備可儲存12組程序,每組程序包含6個運(yùn)行階段。不同運(yùn)行階段設(shè)備轉(zhuǎn)數(shù)不同,使設(shè)備緩慢提升速度至極限速度,有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜,且不會過多浪費(fèi),節(jié)約材料。VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)具有操作簡單、清理方便,體積小巧等優(yōu)點(diǎn),主要應(yīng)用于各大專院校、科研院所的實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行薄膜的生成過程。

      產(chǎn)品名稱

      VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

      產(chǎn)品型號

      VTC-100PA

      安裝條件

      本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

      1、水:設(shè)備配有進(jìn)出水口

      2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地。

      3、氣:不需要

      4、工作臺:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kgs以上

      5、通風(fēng)裝置:需要

      主要特點(diǎn)

      1、真空吸附方式固定樣件,操作簡便。

      2、真空度可以達(dá)到-0.08MPa。

      3、使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置,以減少偏心而造成的震動或飛片。

      4、根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤,且更換方便簡單。

      5、電機(jī)采用24V直流無刷電機(jī),無級調(diào)速可靠性高,適應(yīng)性強(qiáng),維修與保養(yǎng)簡單噪音低,震動小,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),啟動快速穩(wěn)定,加速后運(yùn)行平穩(wěn),可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。

      6、采用無油雙杠真空泵,體積小巧、結(jié)構(gòu)簡單、操作容易、維護(hù)方便、不會污染環(huán)境等優(yōu)點(diǎn)。

      7、腔體采用聚丙烯材質(zhì),使用壽命更長,提高耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開裂性能;機(jī)身采用鑄鋁結(jié)構(gòu),結(jié)實(shí)耐用且質(zhì)輕。

      8、可在惰性氣體氣氛(如Ar、N2)下進(jìn)行涂層。

      9、全英文操作系統(tǒng)。

      10、具有開蓋保護(hù)功能,當(dāng)涂膜過程中或涂膜結(jié)束時打開上蓋后機(jī)器立刻迅速減速直到停止。

      11、控制界面采用液晶顯示屏+單板機(jī)控制系統(tǒng),數(shù)值顯示更直觀可靠。

      技術(shù)參數(shù)

      1、電源:220V 50HZ

      2、電機(jī)功率:350W/24V

      3、速度范圍:500rpm-10000rpm

      4、程序運(yùn)行:可儲存12組程序,每組程序包含6個運(yùn)行階段,每段時間范圍:0—60s。

      5、增減速率設(shè)置范圍:100rpm/s-2000rpm/s

      6、本機(jī)可選配加熱功能:RT-200℃的,整個腔體及吸盤都采用聚四氟乙烯材質(zhì),更耐高溫與腐蝕。

      采用聚四氟乙烯材質(zhì),上蓋集水槽采用聚丙烯材質(zhì)

      溫度單獨(dú)控制,與主機(jī)程序控制無關(guān)聯(lián)

      產(chǎn)品規(guī)格

      尺寸:450mm×280mm×340mm;重量:20kg

      標(biāo)準(zhǔn)配件

      1

      真空吸盤(含O型圈)

      2個(?19mm和?60mm)

      2

      中心定位器(含4個定位柱)

      1個

      3

      滴膠注射器(20ml)

      1個

      4

      注射器支架

      1個

      5

      無油真空泵

      1臺

      6

      橡膠管(含卡箍)

      1根

      可選配件

      進(jìn)口移液器

      國產(chǎn)移液槍

      其它尺寸的真空吸盤

      產(chǎn)品咨詢

      VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

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