顯微鏡頭

標配：10倍超長工作距離物鏡，

工作距離大于17mm

NA值：0.42

光譜范圍：350-800nm

選配：

1，50倍超長工作距離消色差物鏡，

工作距離大于17mm

NA值：0.42

光譜范圍：480-1800nm

2，15倍紫外物鏡，

工作距離大于8.5mm

NA值：0.32

光譜范圍：250-700nm

3，50倍超長工作距離紫外物鏡，

工作距離大于12mm

NA值：0.42

光譜范圍：240-500nm

4，40倍反射式長工作距離

工作距離大于7.8mm

NA值：0.5

光譜范圍：200nm-20um

光斑中心空心

光源

選配光源

1、半導體激光器

波長：405nm，532nm，633nm，808nm，980nm可選

不穩定性：＜1%

2、皮秒脈沖激光器

波長：375nm，405nm，488nm，785nm，976nm可選

脈寬：100ps

頻率：1-20M Hz

3、氙燈光源

光譜范圍：250nm-1800nm

不穩定性：＜1%

4、超連續白光激光光源

光譜范圍：400-2400nm

頻率：0.01MHz-200MHz

脈寬：100ps

光譜儀

焦距：300mm；

相對孔徑：f/3.9；

光學結構：C-T；

光譜儀分辨率：0.1nm；

倒線色散：2.7nm；

波長準確度：±0.2nm

波長重復性：±0.1nm

掃描步距：0.005nm

狹縫規格：圓孔抽拉式固定狹縫，孔徑：0.2mm，0.5mm，1mm，1.5mm，2mm，2.5mm，3mm；

三光柵塔臺；

光柵配置：1-120-300、1-060-500、1-030-1250，光柵尺寸：68×68mm

6檔自動濾光片輪，光譜范圍200-2000nm；

內置電動機械快門，軟件控制快門開關；

雜散光抑制比：10^-5

探針臺配置

4個探針座，配20/10微米針尖探針

2米三同軸電纜，漏電流小于1pA。

真空吸附樣品臺。

探針座：ＸＹＺ方向12ｍｍ調節行程，0.75uｍ調節分辨率，

0-30°調節探針角度。

LBIC Maapping

XY方向行程50mm，分辨率5um。

數釆

v 鎖相放大器

斬波頻率：20Hz~1KHz；

頻率6位顯示，2.4英寸屏，320×240液晶顯示；

電壓輸入模式：單端輸入或差分輸入；

電壓、電流兩種輸入模式；

滿量程靈敏度：1nV至1V；

電流輸入增益：10⁶或10⁸V/A；

動態儲備：＞100dB；

時間常數范圍：10μs至3ks；

v keithley2612B

量程：100nA/1A

*小信號：1nA

本地噪音：100pa

分辨率：100fa

通道數：2

v keithley2636B

量程：1nA/1A

*小信號：10pA

本地噪音：1pa

分辨率：10fa

通道數：2

制冷樣品臺

溫度范圍：-196℃-600℃，（-196℃需要選擇專用冷卻系統）

全程溫度精度/溫度性：0.1℃/＜0.01℃

光孔直徑：2.4mm

樣品區域面積：直徑22mm

兩個樣品探針，1個LEMO接頭（可增加至1探針）

工作距離：4.5-12.5mm

氣密樣品腔室，可充入保護性氣體

獨立溫度控制

響應速率測試

示波器型號：MDO32

模擬帶寬100MHz

采樣率5GS/s

記錄長度10M

時間范圍：uS-S，需要配合調制激光器使用

時間范圍：10nS-S，需要配合皮秒脈沖激光器使用