產(chǎn)品特點(diǎn)

干進(jìn)干出

有支持大批量生產(chǎn)的多樣輔助設(shè)備

優(yōu)越的工藝性能

研磨終點(diǎn)檢出監(jiān)視器(可選)

在線膜厚測定儀(可選)

靈活對應(yīng)各用戶的特殊規(guī)格要求

3段洗凈(包括化學(xué)洗凈)對應(yīng)方式