產(chǎn)品特點

干進干出

有支持大批量生產(chǎn)的多樣輔助設(shè)備

優(yōu)越的工藝性能

研磨終點檢出監(jiān)視器(可選)

在線膜厚測定儀(可選)

Model F-REX系列 本裝置是用于無塵室中對半導(dǎo)體晶元表面進行化學機械研磨的CMP設(shè)備。設(shè)備具備經(jīng)市場證明了的高度可靠以及優(yōu)越的過程處理性能,并能對各個客戶的特殊規(guī)格要求進行靈活應(yīng)對。