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      >32BF-4M5P精密研磨拋光設備

      32BF-4M5P精密研磨拋光設備

      32BF-4M5P精密研磨拋光設備

      直接聯系

      蘇州博宏源設備股份有限公司

      江蘇

      產品規格型號
      參考報價:

      面議

      品牌:

      蘇州博宏源

      型號:

      32BF-4M5P精密研磨拋光設備

      關注度:

      856

      產品介紹

      一、產品用途

       

          主要用于半導體、藍寶石、玻璃、陶瓷片、晶體材料及其他硬脆材料的高精度雙面研磨,尤其對于超薄工件的加工具有明顯的優勢。

       

      二、安裝條件

       

      序號

      項目

      指標要求

      1

      環境

      室內地面平坦、無振動源、無灰塵煙霧污染

      2

      水源

      純水或自來水

      3

      電源

      約70kW  AC380V  50Hz(總功率)

      4

      氣源

      壓縮空氣源 0.6Mpa,接口φ16mm(外徑)

      5

      溫度

      10℃-25℃

      6

      相對濕度

      ≤95%

      7

      外形尺寸(長x寬x高)

      3700x3000x4100mm(含地腳高度及電器柜尺寸)

      8

      主機重量

      28000Kg

      9

      主機顏色

      BH白或訂制

       

       

      三、主要特點

       

      序號

      項目

      特點

      1

      壓力控制

      運動控制器+壓力傳感器+電氣比例閥+低摩擦氣缸實現高精度壓力控制,上盤**使用壓力1200Kg,精度可達2%

      2

      上盤調心

      采用萬向節結構,調心靈活,承載力高

      3

      上盤防落裝置

      雙重機械鎖定,安全性更高

      4

      高精度速度控制

      自編程實現低速平穩、啟停同步運轉控制,內外齒圈采用伺服控制,速度控制更精準

      5

      精密傳動系統

      高精度小齒隙全齒輪傳動

      6

      下盤支撐

      高精度流體軸承支撐

      7

      免維護設計

      齒輪采用自動集中潤滑裝置,關鍵器件采用進口知名品牌,軸承留有潤滑接口

      8

      強制散熱系統

      軸流風機排熱方式,并預留抽風接口,用戶可自行連接

      9

      清洗便捷

      低臺面、半裸式接液盆

      10

      同步升降

      齒圈太陽輪同步升降,采用伺服電機拖動,可自動或手動調節高度,延長使用壽命

      11

      游輪精確定位

      齒圈太陽輪采用伺服電機拖動,可實現游輪的精確定位

      12

      水液分離裝置

      水液切換程序控制,自動分離,操作便捷,清洗水可自動排放

      13

      整機減振

      防振式結構設計安裝,設備更穩定

      14

      防護設計

      齒圈、太陽輪采用不銹鋼制作,接液盆,托盤、拋盤等接觸到工作液的地方均噴涂特氟龍

      15

      供液系統

      桶體設有排污口,具備溫度、液位監測,具有加熱和冷卻功能,具有液泵和攪拌泵,出口設有過濾器,管路設有流量監測,能在線實時檢測流量

      16

      自動測厚

      設備裝有機械測厚系統,能在線實時檢測工件加工厚度

      17

      分級管理

      密碼分級管理,不同人員具有不同的操作權限

      18

      工藝適用性

      程序控制

      可儲存多套工藝參數,每套工藝可達20步,工藝參數設置包括(壓力、時間、速度、速比、緩降壓力、浮動時間等)

       

      速比搭配

      四電機獨立同步拖動,上下盤、內齒、外齒(即可正轉,也可反轉)轉速可任意設定,具有配方功能


      產品咨詢

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