低溫等離子體表面處理儀主要由供氣控制單元，真空室，等離子發生器，真空泵，等幾部分組成，通過電容式耦合射頻輝光放電的方式產生低溫等離子體。等離子體中含有豐富的離子、電子、自由基等活性粒子，可以對材料表面產生多種效應。在刻蝕和清潔作用的同時，等離子體中的活性粒子將羧基(-COOH)、羥基(-OH)等含氧功能基團引入材料表面，增強材料表面的活性位點，提升材料的表面能，實現材料的表面活化。

低溫等離子體表面處理儀工作流程:

設定低溫等離子體處理儀參數→樣品放入處理腔正極板上→打開真空泵→待真空度降至100Pa以下→開啟放電電源→處理完畢取出樣品