氧等離子清洗機(jī)其原理是:在低真空環(huán)境中通入氧氣，上電極接入的射頻功率會(huì)使得上極板與下極板交替(陰極)發(fā)射電子，電子經(jīng)過(guò)上下極板之間的電場(chǎng)加速后撞擊氧分子:當(dāng)電子速度達(dá)到足夠大時(shí)，其撞擊便會(huì)使氧氣電離;電離后的氧等離子體中含有的多種帶電粒子，在電場(chǎng)的作用下，這些帶電粒子不斷碰撞別的粒子，不斷變化;*后氧等離子體整體達(dá)到動(dòng)態(tài)平衡，其含有各種粒子的比例由射頻功率決定。同時(shí)在這個(gè)過(guò)程中，需要不斷輸入氧氣和排出廢氣。