英?？?strong>殘余氣體分析儀（RGAs）用作診斷工具，幫助工藝工程師持續監測制造過程中存在的污染氣體并檢驗預期工藝氣體的存在。

殘余氣體分析儀（RGAs）的Transpector®家族

Transpector®氣體分析儀為真空過程監控、過程診斷和檢漏提供精確、可靠的數據。