C/C復(fù)合材料大型沉積爐

用途：

可用于以碳?xì)錃怏w(如C3H8等)為碳源的復(fù)合材料的化學(xué)氣相沉積，如C/C復(fù)合材料、SiC復(fù)合材料等的CVD、CVI處理。

特點

化學(xué)氣相沉積爐主要配置

結(jié)構(gòu)形式：臥式-單開門/雙開門;立式-上出料/下出料

爐門：絲杠升降//液壓升降/手動升降;手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊

爐殼：全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼

爐膽：軟碳?xì)?軟石墨氈/硬質(zhì)復(fù)合氈

加熱器：等靜壓石墨/模壓三高石墨/細(xì)顆粒石墨

工藝氣路系統(tǒng)：體積/質(zhì)量流量計;手動閥/自動閥;進口/國產(chǎn)

真空泵和真空計---進口/國產(chǎn)

人機界面：觸摸屏/工控機