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      真空爐
      
				
      >真空退火爐—VF-200
      
			
      
			
      
				
			
      
		
      
		
		
      
			
      
				
      真空退火爐—VF-200
      
				
      真空退火爐—VF-200
      
			
      
			
      
				
      
					
      
															
      
						
      
				
      
					
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      合肥致真精密設備有限公司
      
										
      安徽
      
					
					
					
                    						
      
			
      
			
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      參考報價：
      面議
      
	
      品牌：
      致真精密
      	
      型號：
      真空退火爐—VF-200
      	
      關注度：
      1497
      					
				
      
			
      
			
      產品介紹
      
			
      
				
      
					
      真空退火爐是改善薄膜質量的有效手段，在特殊氣體氛圍下加熱還可以改善薄膜的組分。VF-200是致真設備公司推出的一款標準型退火爐，可與公司其他工藝腔體互聯實現薄膜的原位退火，也可以單獨使用。還可以選配磁鐵模塊實現對磁性薄膜的誘導，系統搭配控制軟件，運行穩定可靠!
      性能參數
      晶圓尺寸
      1inch-8inch
      極限真空
      5×10-8mbar
      溫控
      RT-1200℃，精度±1℃
      加熱方式
      SIC輻射加熱
      氣體氛圍
      可在O2等環境下加熱
      互聯
      可與工藝腔體互聯實現自動傳輸
      真空系統
      機械泵+分子泵
      可選
      		磁鐵模塊、進樣室、氣氛退火等

      				
      
						
      
			
		
      
		
		
      
			
      
				
      
					
				
      
				
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      真空退火爐—VF-200
      
						
      真空退火爐—VF-200
      
						 					
      
				
      
				
      
					
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      真空退火爐—VF-200 - 1497
      
				
			
      
			
      
				
      
					
					
					
									
      
					
      
					
      
			
		
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