粉體行業(yè)在線展覽
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粉體行業(yè)在線展覽
兩個鍍膜系統(tǒng)直接互聯(lián)設(shè)備
直接聯(lián)系
合肥致真精密設(shè)備有限公司
安徽
面議
致真精密
兩個鍍膜系統(tǒng)直接互聯(lián)設(shè)備
1202
致真設(shè)備還推出了多款互聯(lián)設(shè)備實現(xiàn)多個系統(tǒng)的互聯(lián)，適用于2~8英寸的晶圓。通過真空泵組搭配可實現(xiàn)晶圓的超高真空傳輸。根據(jù)需求可以選擇兩套系統(tǒng)直接相連，成本較低且運行可靠。也可以通過圓形互聯(lián)系統(tǒng)實現(xiàn)多個系統(tǒng)相連，通過選配進樣室可以實現(xiàn)超高真空過渡，減少對鍍膜系統(tǒng)的污染。
觀察窗擋板
傾斜式高溫樣品臺
蒸發(fā)源
圓形互聯(lián)設(shè)備（外置機械臂、內(nèi)置機械臂）
兩個鍍膜系統(tǒng)直接互聯(lián)設(shè)備
超高真空管道傳輸設(shè)備
晶圓真空傳輸平臺—VTM
量產(chǎn)型磁控濺射設(shè)備—MSI-200
生產(chǎn)型磁控濺射設(shè)備—MSI-100-UHV
生產(chǎn)型磁控濺射設(shè)備—MSI-100-HV
量產(chǎn)級多功能薄膜沉積設(shè)備
分子束外延設(shè)備—MBE-400
