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      量產級多功能薄膜沉積設備

      量產級多功能薄膜沉積設備

      直接聯系

      合肥致真精密設備有限公司

      安徽

      產品規格型號
      參考報價:

      面議

      品牌:

      致真精密

      型號:

      量產級多功能薄膜沉積設備

      關注度:

      1189

      產品介紹

      該設備基于晶圓真空傳輸平臺VTM,可以靈活配備傳輸腔室和工藝腔室,工藝腔室可選配電子束蒸發腔室、分子束外延腔室、濺射腔室、熱蒸發腔室和預清洗腔室等。可實現多種材料的精確沉積。

      性能參數

      晶圓尺寸8~12吋
      極限真空優于5×10-9mbar(工藝室PM)
      優于5×10-7mbar(傳輸室TM)
      優于5×10-6mbar(進樣室Load lock)
      工藝室可選配電子束蒸發腔室、分子束外延腔室、熱蒸發腔室、預清洗室、濺射室、退火室、低溫室、蒸發室、氧化室等
      傳輸室可選四邊形、六邊形或八邊形腔室,可實現多個傳輸室互聯,配置雙臂或單臂機械臂,配置校準和測量裝置
      進樣室8或12吋晶圓,可選EFEM等前端模塊

      詳細配置可咨詢業務


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