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      半導體行業專用儀器
      
				
      >紅外快速退火爐系統
      
			
      
			
      
				
			
      
		
      
		
		
      
			
      
				
      紅外快速退火爐系統
      
				
      BTF-1200C-RTP-CVD
      
			
      
			
      
				
      
					
      
															
      
						
      
				
      
					
      直接聯系
      
					
      安徽貝意克設備技術有限公司
      
										
      安徽合肥
      
					
					
					
                    						
      
			
      
			
      產品規格型號
      
			
      
				
      
	
      參考報價：
      面議
      
		
      型號：
      BTF-1200C-RTP-CVD
      	
      關注度：
      2601
      					
				
      
			
      
			
      產品介紹
      
			
      
				
      
					
      一、設備簡介
      該款設備是由單端封口紅外滑軌爐、 高真空機組、供氣系統及操作控制界面組成，內控熱電偶用于控制RTP爐內的溫度，出氣口通過連接手動擋板閥、波紋管用于對石英艙體內的真空獲取，進氣口除用于通入保護氣體或反應氣體外，還可以用于移出爐膛后通入氣體帶走熱量的快速降溫，以此獲得較高的降溫速率。

      二、技術參數
      加熱系統
      額定電壓
      AC 220V  50/60Hz
      額定功率
      20KW
      使用溫度
      1200℃
      額定溫度
      1000℃
      穩定狀態溫度范圍
      100~1000℃
      加熱區長度
      230mm
      恒溫區長度
      120mm
      溫度控制重復性
      ±3℃
      溫度控制精確度
      ±0.1℃
      升溫速率
      ≤50℃/s
      控溫方式
      內控溫
      溫度過沖
      ≤3℃
      爐管尺寸
      高純石英管Φ90*400*R45mm
      控溫方式
      智能化PLC控制，具有超溫和斷偶報警功能
      真空機組主要參數
      空氣相對濕度
      ≤85%
      工作電壓
      220V±10%  50~60Hz
      抽氣速率
      165L/min
      實驗真空度
      5.0x10-1Pa（空載、冷態）
      容油量
      1.1L
      進氣口口徑
      KF25
      排氣口口徑
      KF25
      供氣系統主要參數
      連接頭類型
      雙卡套不銹鋼接頭
      標準量程（N2）
      200sccm、500sccm
      準確度
      ±1.5%
      線性
      ±0.5~1.5%
      重復精度
      ±0.2%
      響應時間
      氣特性 1~4Sec，電特性 10Sec
      工作壓差范圍
      0.1~0.5MPa
      壓力
      ≤3MPa
      接口
      Φ6，1/4”
      顯示
      液晶屏顯示
      工作環境溫度
      5~45高純氣體
      內外雙拋不銹鋼管
      Φ6

      				
      
						
      
			
		
      
		
		
      
			
      
				
      
					
				
      
				
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      紅外快速退火爐系統
      
						
      BTF-1200C-RTP-CVD
      
						 					
      
				
      
				
      
					
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      紅外快速退火爐系統 - 2601
      
				
			
      
			
      
				
      
					
					
					
									
      
					
      
					
      
			
		
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