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      等離子化學氣相沉積系統-PECVD

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      安徽助研儀器有限公司

      安徽

      產品規格型號
      參考報價:

      面議

      品牌:

      助研儀器

      型號:

      等離子化學氣相沉積系統-PECVD

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      產品介紹

      等離子化學氣相沉積系統-PECVD

      ZYE-1200-PE

      為了使化學反應能在較低的溫度下進行,利用了等離子體的活性來促進反應,因而這種CVD稱為等離子體增強化學氣相沉積法(PECVD)。它是由500W射頻電源、1200℃單溫區管式爐、三通道質量流量混氣系統和真空系統組成。此款PECVD系統用于生長納米線、石墨烯或SiC薄膜等

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      技術參數
      型號ZYE-1200-PE
      工作溫度**溫度:1200℃(使用是必須通入惰性氣體以防爐管發生形變)工作溫度:1100℃推薦升溫速率:≤10℃/min
      控溫精度±1℃
      配置爐管尺寸Φ50(外)×1200mm(其他可定制)
      爐膛尺寸

      Φ80×280mm

      加熱區加熱長度:220mm 恒溫區長度:60-80mm(±3℃)
      控制方式PID控制和自整定調節功能,智能化30段可編程控制,具有超溫及段偶功能K型熱電偶,可安裝PC控制軟件對數據進行實時采集(需另購)
      密封系統不銹鋼密封法蘭(包括316L針閥、真空機械壓力表、軟管接頭)
      加熱元件北京首鋼HRE
      **功率3kW
      供氣系統三路高精度MFC 量程0-500sccm(按客戶需求定)
      射頻電源射頻功率:5-500W 射頻頻率:13.56MHz 匹配方式:自動匹配
      真空系統雙級旋片真空泵(可定制擴散泵 分子泵等)
      額定電壓單相AC220V 50/60Hz
      外形尺寸1600*600*1200mm(長*寬*高)


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      等離子化學氣相沉積系統-PECVD

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