桌面單點測量▼

低成本的臺式少子壽命測量系統，對不同制備階段的硅材料電學參數進行表征。沒有內置自動化?？蛇x配手動z軸，用于厚度在156毫米以下的晶錠。

MDPspot可配電阻率測試選項，常規僅適用于硅，也可用于沒有高度調整可能性的晶圓片以及晶錠，不過需對這兩個選項之一進行預定義。

MDPspot配備結果可視化的標準軟件。

設備特性▼

l 無接觸和非破壞的電學參數測試

l 對外延工藝監控和不可見缺陷檢測，具有可視化測試的較高分辨率

l 對于不同級別晶圓片，提供不同的菜單選項

產品優勢▼

l 用于不同制備階段，從成體到*終器件，多晶硅或單晶硅單點測量載流子壽命的臺式裝置。

l 體積小，成本低，使用方便。擁有一個基本的軟件，結果可視化。

l 適用于晶圓片到晶錠，易于高度調整。

技術參數▼