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      XZG200 全自動晶圓減薄機

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      芯湛半導體設備(上海)有限公司

      上海

      產品規格型號
      參考報價:

      面議

      品牌:

      芯湛半導體

      型號:

      XZG200 全自動晶圓減薄機

      關注度:

      1556

      產品介紹

          技術參數    

       

      可磨削材料si、csi ... ...
      磨削方式立軸切入式磨削
      可兼容加工晶圓尺寸(英寸)Φ4,5,6,8
      設備尺寸(mm)( 長×寬×高)2750×1200×2000
      設備重量(KG)約4200
      主軸數量2
      晶圓內精度(TTV)(um)3以下
      晶圓間精度(WTW)(um)±3以下
      加工產能>25


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