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      >微波等離子化學(xué)氣相沉積(MPCVD)系統(tǒng) —— A型

      微波等離子化學(xué)氣相沉積(MPCVD)系統(tǒng) —— A型

      微波等離子化學(xué)氣相沉積(MPCVD)系統(tǒng) —— A型

      直接聯(lián)系

      成都華宇東升微波設(shè)備有限公司

      四川

      產(chǎn)品規(guī)格型號
      參考報價:

      面議

      品牌:

      華宇東升

      型號:

      微波等離子化學(xué)氣相沉積(MPCVD)系統(tǒng) —— A型

      關(guān)注度:

      1469

      產(chǎn)品介紹

      微波等離子化學(xué)氣相沉積(MPCVD)系統(tǒng)

      —— A 

         一款典型的微波等離子體化學(xué)氣相沉積裝置,可以在50mm直徑的襯底范圍內(nèi)進行金剛石單晶和多晶生長。

      應(yīng)用領(lǐng)域:工具、熱沉、光學(xué)窗口、寶石等。



          


      性能特點:

      ?**功率達(dá)到6kW

      ?微波反應(yīng)腔新型設(shè)計,功率密度大

      ?產(chǎn)品沉積速率快、沉積質(zhì)量高

      ?采用水冷全金屬腔體

      ?采用高效散熱的樣品臺

      ?設(shè)備安全性高、耐用性高、可靠性強

      ?多參數(shù)實時監(jiān)測,PLC屏幕控制,簡捷的人機交互界面


      主要技術(shù)參數(shù):

      微波功率

      0.6kW -6kW 連續(xù)可調(diào) 2.45GHz

      反應(yīng)腔圓柱形反應(yīng)腔
      真空漏率≤5×10-10Pa·m3/s
      氣體質(zhì)量流量控制標(biāo)配5路,可定制
      工作氣壓

      1kPa - 30kPa

      樣品臺

      一層升降

      基板臺類型水冷式基板臺
      襯底托**支持60mm直徑圓臺面積穩(wěn)定沉積
      操作系統(tǒng)

      PLC控制系統(tǒng)

      樣平臺升降功能有,可選
      樣品臺旋轉(zhuǎn)功能
      旋轉(zhuǎn)模式連續(xù)旋轉(zhuǎn)、間歇旋轉(zhuǎn)
      旋轉(zhuǎn)角度360°
      旋轉(zhuǎn)速度0-20轉(zhuǎn)/分,可調(diào)節(jié)


      產(chǎn)品咨詢

      微波等離子化學(xué)氣相沉積(MPCVD)系統(tǒng) —— A型

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