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      半導體行業專用儀器
      
				
      >一體式垂直氣流碳化硅外延設備
      
			
      
			
      
				
			
      
		
      
		
		
      
			
      
				
      一體式垂直氣流碳化硅外延設備
      
				
      一體式垂直氣流碳化硅外延設備
      
			
      
			
      
				
      
					
      
															
      
						
      
				
      
					
      直接聯系
      
					
      芯三代半導體科技（蘇州）股份有限公司
      
										
      江蘇
      
					
					
					
                    						
      
			
      
			
      產品規格型號
      
			
      
				
      
	
      參考報價：
      面議
      
	
      品牌：
      芯三代
      	
      型號：
      一體式垂直氣流碳化硅外延設備
      	
      關注度：
      897
      					
				
      
			
      
			
      產品介紹
      
			
      
				
      
					
      技術優勢
      設備擁有完全獨立的自主知識產權，具有差異化的進氣方式、垂直氣流和溫場控制技術，輔以全自動上下料（EFEM）系統和高溫傳盤等手段，實現了全球優異的低缺陷等綜合技術指標和性能，在高產能、8/6吋兼容、CoO成本、長時間多爐數連續自動生長控制、低缺陷率、維護便利性、可靠性等方面都具有明顯的優勢。
      工藝性能
      				
      
						
      
			
		
      
		
		
      
			
      
				
      
					
				
      
				
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      一體式垂直氣流碳化硅外延設備
      
						
      一體式垂直氣流碳化硅外延設備
      
						 					
      
				
      
				
      
					
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      一體式垂直氣流碳化硅外延設備 - 897
      
				
			
      
			
      
				
      
					
					
					
									
      
					
      
					
      
			
		
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