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      >濺射離子槍?zhuān)入x子體發(fā)生源

      濺射離子槍?zhuān)入x子體發(fā)生源

      直接聯(lián)系

      中昊清遠(yuǎn)(北京)科技有限公司

      德國(guó)

      產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
      參考報(bào)價(jià):

      面議

      關(guān)注度:

      1415

      產(chǎn)品介紹

      濺射離子槍主要用途:

      • 濺射清洗/表面科學(xué)中樣品表面處理, MBE and HV 濺射過(guò)程

      • 離子輔助沉積

      • 離子束濺射鍍膜

      • 反應(yīng)離子刻蝕

        技術(shù)指標(biāo):

        離子能量25eV - 5keV
        總的離子束電流1mA (at 5kV with Argon)

        High Current Version: up to 4mA (at 5kV with Argon)

        電流密度120μA/cm2 at 100mm working distance
        離子束發(fā)散角Ion energy dependant (typically 15°)
        工作距離100 mm (typically)
        等離子體杯Alumina (superior than other dielectric materials due to highest yield of secondary electrons)
        氣體進(jìn)氣口徑CF-16 (1.33“OD)
        氣體流速1 - 5 sccm (1,5 sccm typical, gas dependant)
        工作真空度10-6mbar - 10-3mbar (1x10-5mbar typical in chamber with 300l/s pimp). Low 10-6 mbar range possible - beam current then 140μA max.
        激發(fā)模式微波放電等離子體 (無(wú)燈絲)
        安裝口徑CF-35 (2.75“OD)
        槍直徑34mm (真空端)
        泄露閥需要?dú)怏w質(zhì)量流量計(jì)

      產(chǎn)品咨詢(xún)

      濺射離子槍?zhuān)入x子體發(fā)生源

      中昊清遠(yuǎn)(北京)科技有限公司

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