簡(jiǎn)介(Description)

B系列半自動(dòng)快速退火爐，適用于多規(guī)格尺寸(9片4英寸，4片6英寸，1片8英寸)硅片、第二代、第三代化合物材料等(包括但不限于，磷化銦、砷化鎵、碳化硅、氮化鎵等各類(lèi)襯底和外延片)，擁有出色的熱源和結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。雙面加熱方式與單面加熱相比，可以大幅減小圖案加載效應(yīng)，晶片上熱的均勻性將更好。1-5路氣體配置(可定制)，可抽真空腔體。設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率達(dá)到95%以上，配件渠道豐富。

定義(Definition):

快速熱處理(RTP)設(shè)備是一種單片熱處理設(shè)備，可以將晶圓的溫度快速升至工藝所需溫度(200-1300℃)并且能夠快速降溫，升/降溫度速率約20-250℃。RTP設(shè)備還具有其他優(yōu)良的工藝性能，如**的熱預(yù)算和更好的表面均勻性，尤其對(duì)大尺寸的晶圓片。多用于修復(fù)離子注入后的損傷，多腔體規(guī)格可以同時(shí)運(yùn)行不同的工藝過(guò)程。

設(shè)備規(guī)格(Specifications)

1、適用于2、4、6、8英寸 Wafer(雙腔體可擺放9片4英寸或4片6英寸或1片8英寸材料進(jìn)行加熱處理);2、冷卻方式包括水冷和氮?dú)獯祾?循環(huán)常溫水冷卻，軟件可視化監(jiān)控管理，防止外壁過(guò)熱，內(nèi)置氨氣管路，吹掃腔

體，保持清潔，極速降溫);

3、MFC控制，1-5路制程氣體。(品牌MFC控制器，內(nèi)置多路氣氛管路，可定制開(kāi)通，滿足各類(lèi)測(cè)試工藝需求);4、退火溫度范圍 300℃-1000℃(常規(guī)硅基材料溫度適用于850℃，第三代半導(dǎo)體材料**可到1350℃)5、升溫諫率 ≤150℃/秒(升溫速度隨不同的材料及裝置會(huì)有差異，標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)是裸片放置內(nèi)測(cè)量后得出，150攝氏度每秒是常規(guī)溫度速率，加熱設(shè)備的極限會(huì)更高);

6、Windows操作系統(tǒng):(高性能工業(yè)電腦，搭載windows操作系統(tǒng)，larcomse專(zhuān)屬軟件操作，上手簡(jiǎn)單，系統(tǒng)功能強(qiáng)大，各類(lèi)數(shù)據(jù)可視化程度高，內(nèi)容豐富，亦可定制軟件模塊);

7、配置真空系統(tǒng)(有定壓功能，滿足常規(guī)真空要求，使用分子泵能達(dá)到更高的真空度，能定制真空度);8、多只紅外鹵素光源(根據(jù)需求可配置數(shù)量不等的燈管，以滿足工藝加熱要求)

設(shè)備主要工藝應(yīng)用(Application):

快速熱處理(RTP)，快速退火(RTA)，快速熱氧化(RTO)，快速熱氨化(RTN);

離子注入/接觸退火;

·高溫退火;

●高溫?cái)U(kuò)散;

金屬合金;

熱氧化處理。