D8 DISCOVER with Davanci Design

布魯克公司全新的D8 DISCOVER X射線衍射儀，材料研究領域的先進X射線衍射系統。采用創造性的達芬奇設計，配備了集成化的DIFFRAC.SUITETM軟件，附件自動識別、即插即用以及完全集成化的二維XRD2功能。這些特征使得用戶可以非常方便的在材料研究領域的不同應用之間切換，包括：反射率測量(XRR)、高分辨測量(HRXRD)、掠入射(GID)、面內掠入射(IP-GID)、小角散射(SAXS)以及殘余應力和織構分析。

主要應用

高分辨XRD(HRXRD)

外延多層膜厚度

晶胞參數

晶格錯配

組份

應變及弛豫過程

橫向結構

鑲嵌度

X射線反射率(XRR)

薄膜厚度

組份

粗造度

密度

孔隙度

倒易空間圖譜(RSM)

晶胞參數

晶格錯配

組份

取向

弛豫

橫向結構

面內掠入射衍射 (in-plane GID)

掠入射小角X射線散射(GISAXS)

晶胞參數

晶格錯配

橫向關聯性

取向

物相組成

孔隙度

應力和織構分析

取向分布

取向定量

應變

外延關聯

硬度

物相鑒定(Phase ID)

物相組成

d值確定

擇優取向

晶格對稱性

晶粒大小

應用實例：

HRXRD 硬件設置 LEPTOS(布魯克公司高分辨數據分析軟件)分析多層膜數據