特點(diǎn):

SURFTENS Hl automati全自動(dòng)接觸角測(cè)量?jī)x專(zhuān)為半導(dǎo)體工業(yè)和科研領(lǐng)域設(shè)計(jì),尤其適用于晶圓涂覆及光刻工藝中的工藝控制。

其主要特性包括

全自動(dòng)接觸角測(cè)繪功能

緊湊型設(shè)計(jì),節(jié)省空間

配備電機(jī)驅(qū)動(dòng)的晶圓臺(tái)(X/軸)，,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)樣品定位

電機(jī)控制的自動(dòng)化加液?jiǎn)卧?/p>

自動(dòng)化液滴放置功能

軟件控制全自動(dòng)測(cè)量序列

測(cè)量結(jié)果可通過(guò)報(bào)告文檔及視頻圖像進(jìn)行系統(tǒng)化記錄與分析

快速的接觸角和表面均勻性測(cè)量:

SURFTENS HL automatic專(zhuān)為潔凈室環(huán)境設(shè)計(jì),緊湊的結(jié)構(gòu)、極短的測(cè)量周期以及簡(jiǎn)單的操作流程,在同類(lèi)產(chǎn)品中表現(xiàn)優(yōu)異。其配備步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的 x/p 載物臺(tái),可快速實(shí)現(xiàn)晶員上任意點(diǎn)的接觸角測(cè)量。

SURFTENS HL automati僅需數(shù)秒即可完成對(duì)晶圓表面特性的均與性評(píng)估,測(cè)量結(jié)果的輸出同樣高效便捷,支持將數(shù)據(jù)直接傳輸至質(zhì)量保證(QA)軟件或根據(jù)需求配置為其他格式。同時(shí),系統(tǒng)會(huì)在“邊緣角統(tǒng)計(jì)”標(biāo)簽頁(yè)中匯總并展示整個(gè)批次所有晶圓的相關(guān)統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù),便于用戶(hù)進(jìn)行深入分析。

高度精確的自動(dòng)測(cè)量功能

測(cè)試液滴由自動(dòng)加液裝置產(chǎn)生,液滴圖像即刻以高質(zhì)量實(shí)時(shí)視頻畫(huà)面顯示在電腦屏幕。只需點(diǎn)擊一個(gè)按鍵即可開(kāi)始測(cè)量。軟件能夠快速計(jì)算接觸角,并以直觀的圖形化界面結(jié)合精確的數(shù)據(jù)進(jìn)行呈現(xiàn),方便用戶(hù)記錄與分析。系統(tǒng)具備極短的測(cè)量時(shí)間(每滴僅需1秒),有效避免了因時(shí)間延遲導(dǎo)致的誤差

SURFTENS HL automatiq則量系統(tǒng)不僅提供了高級(jí)別的測(cè)量重復(fù)性和精度,且操作簡(jiǎn)便,對(duì)于對(duì)比度差的圖像,系統(tǒng)還配備了手動(dòng)測(cè)量功能,為用戶(hù)提供靈活的解決方案。