產品描述

Zeta-300 光學輪廓儀是一款非接觸式3D表面形貌測量系統。Zeta-300 以 Zeta-20 3D 輪廓儀的功能為基礎,具有額外的防震選項和靈活的配置,可處理更大的樣品。該 3D 光學量測系統由已獲得**的 ZDot 技術及多模式光學組件提供支持,可支持各種樣品測量:透明和不透明、低反射率和高反射率、光滑表面和粗糙表面,以及從納米到厘米范圍的臺階高度,Zeta-300 光學輪廓儀將六種不同的光學量測技術集成到一個可靈活配詈且易于使用的系統中。ZDot測量模式同時收集高分辨率的3D掃描信息和樣品表面真彩色圖像。其他3D測量技術包括白光干涉測量法、諾馬斯基光干涉對比顯微法和剪切干涉測量法,膜厚測量包含使用ZDot模式測量和光譜反射的測量方法。Zeta-300 也是一款高端顯微鏡,可用于抽樣檢査或缺陷自動檢測。Zeta-300 3D 輪廓儀通過提供全面的臺階高度、粗糙度及薄膜厚度測量以及缺陷檢測功能,來支持研發(R&D) 和生產環境。