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      >經濟型臺式磁控濺射系統
      
			
      
			
      
				
			
      
		
      
		
		
      
			
      
				
      經濟型臺式磁控濺射系統
      
				
      經濟型臺式磁控濺射系統
      
			
      
			
      
				
      
					
      
															
      
						
      
				
      
					
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      重慶眺望科技有限公司
      
										
      重慶
      
					
					
					
                    						
      
			
      
			
      產品規格型號
      
			
      
				
      
	
      參考報價：
      面議
      
	
      品牌：
      重慶眺望
      	
      型號：
      經濟型臺式磁控濺射系統
      	
      關注度：
      898
      					
				
      
			
      
			
      產品介紹
      
			
      
				
      
					
      主要特點
      經濟型臺式濺射系統
      可集成5個1.5英寸共濺射靶
      向上或向下濺射
      沉積均勻性+1-2.5% @ 3"(75mm)基片
      選配load-lock預真空室
      基片加熱溫度850℃℃，旋轉速率0-40rpm，直流和射頻偏壓，50mmZ軸可調工作距離··真正的共焦沉積系統，滿足單層和多層薄膜沉積應用
      可集成4路MFC氣路，可進行反應濺射
      計算機控制或半自動控制
      高真空或超高真空

      				
      
						
      
			
		
      
		
		
      
			
      
				
      
					
				
      
				
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      經濟型臺式磁控濺射系統
      
						
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      經濟型臺式磁控濺射系統 - 898
      
				
			
      
			
      
				
      
					
					
					
									
      
					
      
					
      
			
		
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