AJA Intemational的ATC Orion系列磁控濺射系統(tǒng)是ATC Flagship旗艦系列下的一款高性價(jià)比的緊湊型物理氣相沉積設(shè)備。Orion系列的高真空和超高壓真空濺射系統(tǒng)都沿用了許多ATC濺射系統(tǒng)的成熟設(shè)計(jì)和通用配件。標(biāo)準(zhǔn)的ATC Oron部件(腔體，框架，集群法蘭等)一股都有現(xiàn)貨，因此我們能夠有效縮短設(shè)備交貨時(shí)間。Orion 8有一款特殊設(shè)計(jì)的系統(tǒng)，可以集成4個(gè)2"磁控濺射靶源，可原位偏轉(zhuǎn)。ATC Orion系列濺射系統(tǒng)可以輕易相互連接或是連接其他ATC系統(tǒng)，集成多腔(如，金屬氧化物)或多功能混合系統(tǒng)(如，濺射/蒸發(fā)/PLD/離子束刻蝕)。