設備優勢

• 01

  配備高精密直線電機，高速度 X-Y 運動平臺

• 02

  [DFT動態追蹤補償系統] 配有高精度的晶圓表面高度追蹤及補償系統，保證加工穩定性

• 03

  [SLM激光調制技術] 配有光斑整型及補償功能，提高激光使用效率和產品切割質量

• 04

  操作軟件簡單易用，設備維護方便

• 05

  極小的激光濺射(SPLASH<10μm)

• 06

  雙光束(2-Beam)同時加工作業，效率高

基本信息

• 1. 適用產品尺寸：8/12inch

• 2. 激光器：紅外激光器 (根據不同產品搭配不同波長激光器)

• 3. 切割速度: 0-1000mm/s

• 4. 加工方式：全自動

• 5. 整型及補償系統：SLM

• 6. 產品表面追蹤系統：DFT動態追蹤補償系統