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      綜合型分析探針臺

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      綜合型分析探針臺
      型號 SH-6 SH-8 SH-12
      外形 820mm長*720mm寬*890mm高 960mm長*850mm寬*900mm高 1300mm長*920mm寬*920mm高
      重量 170公斤 約230公斤 約300公斤
      電力需求 220VC,50~60Hz
      樣品臺 尺寸 6英寸,可360度旋轉(zhuǎn) 8英寸,可360度旋轉(zhuǎn) 12英寸,可360度旋轉(zhuǎn)
      行程 X-Y行程6*6英寸 X-Y行程8*8英寸 X-Y行程12英寸*12英寸
      移動(dòng)精度 1um
      樣品固定方式 真空吸附
      背電極測試功能 有,樣品臺電學(xué)獨(dú)立懸空
      針座平臺 規(guī)格 U型平臺,*多可放置6個(gè)針座 U型平臺,*多可放置10個(gè)針座 U型平臺,*多可放置12個(gè)針座
      行程&調(diào)節(jié)方式 平臺可以快速升降,行程 6mm,并帶自動(dòng)鎖定功能;可以上下微調(diào),行程25mm,升降精度1um
      光學(xué)特性  顯微鏡行程 X-Y軸行程2英寸*2英寸,Z軸:50.8mm
      顯微鏡移動(dòng)精度 1um
      切換鏡頭方式 顯微鏡快速傾仰30    
      放大倍數(shù) 20~4000X
      鏡頭規(guī)格 目鏡:10X;物鏡:5X,10X,20X,50X,100X(選配)
      CCD像素 50W(模擬)/200W(數(shù)字)/500W(數(shù)字)
      點(diǎn)針規(guī)格 X-Y-Z行程 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm
      機(jī)械精度 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米
      漏電精度 10pA/100fA     (配置屏蔽箱時(shí))
      接口形式 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸接口
      應(yīng)用方向 晶圓測試,光電器件測試,PCB/封裝器件測試,射頻測試,高壓/大電流測試等
      可選附件 卡盤快速拉出裝置 加熱臺 光強(qiáng)/波長測試選件
      顯微鏡傾仰裝置(傾仰30度) 高低溫樣品臺 射頻測試附件
      顯微鏡氣動(dòng)升降裝置 屏蔽箱 有源探頭
      激光微加工 轉(zhuǎn)接頭 低電流/電容測試
      探針卡夾具 防震臺 兼容積分球測試選件
      顯微鏡暗場/DIC/Normarski 檢測光強(qiáng)/波長測試接口部件 鍍金卡盤 光纖夾具耦合測試選件
      液晶熱點(diǎn)偵測套裝 同軸叁軸卡盤 封裝器件夾具
      高壓/大電流測試套裝 樣品臺快速升降,微調(diào)升降裝置選件 PCB/封裝夾具測試選件
      帶真空底座的活動(dòng)Chuck 樣品臺旋轉(zhuǎn)微調(diào)選件 特殊定制

      特點(diǎn)
      穩(wěn)定的結(jié)構(gòu) 同軸絲杠傳動(dòng)結(jié)構(gòu),線性移動(dòng)
      針座平臺可快速升降和微調(diào),適合針卡測試 大手柄驅(qū)動(dòng),操作舒適,無回程差設(shè)計(jì)
      兼容高倍率金相顯微鏡,可微調(diào)移動(dòng) 芯片內(nèi)部線路/電極/PAD測試
      高等院校/研究所/公司實(shí)驗(yàn)室使用 LD/LED/PD的光強(qiáng)/波長測試
      **可用于12英寸以內(nèi)樣品測試 材料/器件的IV/CV特性測試


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      綜合型分析探針臺

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