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      產品>
      
				
      粉體測試設備>
      
			
      其他測試設備
      
				
      >膜厚量測儀　FE-300
      
			
      
			
      
				
			
      
		
      
		
		
      
			
      
				
      膜厚量測儀　FE-300
      
				
      FE-300
      
			
      
			
      
				
      
					
      
															
      
						
      
				
      
					
      直接聯系
      
					
      大塚電子（蘇州）有限公司
      
										
      江蘇
      
					
					
					
                    						
      
			
      
			
      產品規格型號
      
			
      
				
      
	
      參考報價：
      面議
      
	
      品牌：
      大塚電子
      	
      型號：
      FE-300
      	
      關注度：
      4819
      					
				
      
			
      
			
      產品介紹
      
			
      
				
      
					
      特　長
      薄膜到厚膜的測量范圍、UV~NIR光譜分析
      高性能的低價光學薄膜量測儀
      藉由**反射率光譜分析膜厚
      完整繼承FE-3000高端機種90%的強大功能
      無復雜設定，操作簡單，短時間內即可上手
      線性*小平方法解析光學常數（n:折射率、k:消光系數）
      測量項目
      • **反射率測量
      • 膜厚解析（10層）
      • 光學常數解析（n：折射率、k：消光系數）
      產品規格

      FE-300V
      FE-300UV
      FE-300NIR※1
      對應膜厚
      標準型
      薄膜型
      厚膜型
      超厚膜型
      樣品尺寸
      **8寸晶圓（厚度5mm）
      膜厚范圍
      100nm ~ 40μm
      10nm ~ 20μm
      3μm ~ 300μm
      15μm ~ 1.5mm
      波長范圍
      450nm ~ 780nm
      300nm ~ 800nm
      900nm ~ 1600nm
      1470nm ~ 1600nm
      膜厚精度
      ±0.2nm以內※2
      -
      重復再現性（2σ）
      ±0.1nm以內※3
      -
      測量時間
      0.1s ~ 10s以內
      量測口徑
      約φ3mm
      光源
      鹵素燈
      UV用D2燈
      鹵素燈
      鹵素燈
      通訊界面
      USB
      尺寸重量
      280（W）× 570（D）×350（H）mm，約24kg
      軟體功能
      標準功能
      波峰波谷解析、FFT解析、*適化法解析、*小二乘法解析
      選配功能
      材料分析軟件、薄膜模型解析、標準片解析
      ※1 請于本公公司聯系聯系我們
       ※2 對比VLSI標準樣品（100nm SiO2/Si），范圍值同保證書所記載
      ※3 測量VLSI標準樣品（100nm SiO2/Si）同一點位時之重復再現性。（擴充系數2.1）
      應用范圍
      半導體晶圓膜（光阻、SOI、SiO2等）
      光學薄膜（OC膜、AR膜、ITO、IZO膜等）
      測量范例
      • PET基板上的DLC膜
        • item_0005FE-300_sub001.gif
      • Si基板上的SiNx
        item_0005FE-300_sub002.gif


      				
      
						
      
			
		
      
		
		
      
			
      
				
      
					
				
      
				
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      膜厚量測儀　FE-300
      
						
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