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      >超高溫碳化物沉積爐

      超高溫碳化物沉積爐

      HCVD-101015-ZrC

      直接聯(lián)系

      湖南頂立科技股份有限公司

      湖南

      產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
      參考報(bào)價(jià):

      面議

      品牌:

      頂立科技

      型號(hào):

      HCVD-101015-ZrC

      關(guān)注度:

      4495

      產(chǎn)品介紹

      超高溫碳化物沉積爐技術(shù)特征

      采用先進(jìn)的控制技術(shù),能精密控制H2、C3H6的流量和壓力,爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定,壓力波動(dòng)小;

      全密閉沉積室,密封效果好,抗污染能力強(qiáng);

      多通道工藝氣路,流場(chǎng)均勻,無沉積死角,沉積效果好;

      多級(jí)高效尾氣處理系統(tǒng),能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點(diǎn)粘性產(chǎn)物,環(huán)境友好;

      可選配新設(shè)計(jì)的防腐蝕真空機(jī)組,持續(xù)工作時(shí)間長(zhǎng),維修率低;

      適于工藝氣氛:真空/H2/N2/Ar/C3H6/ZrCl4/HfCl4/BCl3/TaCl5/ZrB2/HfB2/TaB2

      超高溫碳化物沉積爐產(chǎn)品規(guī)格

      參數(shù)\型號(hào)HCVD-101015-ZrCHCVD-152023-ZrCVCVD-0608-ZrCVCVD-0812-ZrCVCVD-1120-ZrCVCVD-1218-ZrCVCVD-1520-ZrC
      工作區(qū)尺寸 W×H×L(mm)1000×1000×15001500×2000×2300600×800800×12001100×20001200×18001500×2000
      **溫度(℃)2000200020002000200020002000
      溫度均勻性(℃)±10/±15±15/±20±5/±7.5±7.5/±10±10/±15±10/±15±15/±20
      極限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-1001-1001-100
      壓升率(Pa/h)0.670.670.670.670.670.670.67
      加熱方式電阻電阻電阻電阻電阻電阻電阻

      以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整,不作為驗(yàn)收依據(jù),具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。

      超高溫碳化物沉積爐配置選擇

      結(jié)構(gòu)形式:臥式-單開門/雙開門;立式-上出料/下出料

      爐門鎖緊方式:手動(dòng)/自動(dòng)

      爐殼材質(zhì):內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼

      保溫材質(zhì):碳?xì)?石墨氈/碳纖維固化氈

      加熱器、馬弗材質(zhì):石墨/CFC

      熱電偶:C/S分度號(hào)

      紅外儀:?jiǎn)伪壬?雙比色

      真空泵:機(jī)械泵組/耐腐蝕泵組


      產(chǎn)品咨詢

      超高溫碳化物沉積爐

      HCVD-101015-ZrC

      請(qǐng)?zhí)顚懩男彰?

      請(qǐng)?zhí)顚懩碾娫挘?

      請(qǐng)?zhí)顚懩泥]箱:*

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      超高溫碳化物沉積爐 - 4495
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