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      產品>
      
				
      窯爐設備>
      
			
      粉體焙燒爐
      
				
      >立式爐
      
			
      
			
      
				
			
      
		
      
		
		
      
			
      
				
      立式爐
      
				
      立式爐
      
			
      
			
      
				
      
					
      
															
      
						
      
				
      
					
      直接聯系
      
					
      中國電子科技集團公司第四十八研究所
      
										
      湖南
      
					
					
					
                    						
      
			
      
			
      產品規(guī)格型號
      
			
      
				
      
	
      參考報價：
      面議
      
	
      品牌：
      電子科技
      	
      型號：
      立式爐
      	
      關注度：
      957
      					
				
      
			
      
			
      產品介紹
      
			
      
				
      
					
      • 序號
        指標名稱
        主要技術指標
        1
        晶圓尺寸
        8英寸
        2
        **溫度
        1100℃（石英）
          1250℃（碳化硅）
        3
        控溫精度
        ≤±0.5℃
        4
        溫度均勻性
        ≤±1℃
        5
        升溫速率
        0-10℃/min
        6
        **裝載量
        170片
        7
        有效工作區(qū)域
        Φ230mm×780mm
        8
        溫區(qū)數量
        5
        9
        氣路數量
        4
        10
        片內均勻性（WIW）
        ≤2%
        11
        片間均勻性（WTW）
        ≤2%
        12
        批間均勻性（RTR）
        ≤2%
        13
        新增顆粒
        ≤50（≥0.16μm）
        ≤30（≥0.2μm）
        14
        金屬污染
        <5E10 atms/cm2


      				
      
						
      
			
		
      
		
		
      
			
      
				
      
					
				
      
				
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      請?zhí)顚懩男彰?
      
					
				
      
				
      
					
      請?zhí)顚懩碾娫挘?
      
					
				
      
				
      
					
      請?zhí)顚懩泥]箱：*
      
					
				
      
				
      
					
      請?zhí)顚懩膯挝?公司名稱：*
      
					
				
      
				
      
					
      請?zhí)岢瞿膯栴}：*
      
					
				
      
				
      
					
      您需要的服務：
      
					
      
						
					
      
					
      
						
					
      
					
      
						
					
      
					
      
				
      
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      立式爐 - 957
      
				
			
      
			
      
				
      
					
					
					
									
      
					
      
					
      
			
		
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