核心技術：

超高膜厚勻性控制工藝與設備技術；

超低溫成膜工藝與對應之設備技術；

**射頻等離子體清潔工藝；

簡介： 九大**： 客制化精密零件、自主研發、**遠端監控、雙變頻電控系統、人機觸控界面、HOT N2功能模式、視覺燈效管理、6秒不斷電UPS系統、關鍵數據趨勢圖  先進性： 干泵結構的優化設計以降低能耗； 零件采用特殊涂層，增加抗腐蝕能力； 新型冷卻結構及內建熱氮氣吹掃功能模式 

核心技術：

超高膜厚勻性控制工藝與設備技術；

超低溫成膜工藝與對應之設備技術；

**射頻等離子體清潔工藝；

先進性：

自有IP特殊Pre-treatment電極設計；

保證立體結構的完整包覆是借由設計TS Distance的優化，**的shielding box設計以及工藝參數的優化來達成；

獨特的cathode設計特點

簡介： 九大**： 客制化精密零件、自主研發、**遠端監控、雙變頻電控系統、人機觸控界面、HOT N2功能模式、視覺燈效管理、6秒不斷電UPS系統、關鍵數據趨勢圖  先進性： 干泵結構的優化設計以降低能耗； 零件采用特殊涂層，增加抗腐蝕能力； 新型冷卻結構及內建熱氮氣吹掃功能模式