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      PECVD

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      直接聯(lián)系

      廣東鴻浩半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

      廣東

      產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
      參考報(bào)價(jià):

      面議

      品牌:

      鴻浩半導(dǎo)體

      型號(hào):

      PECVD

      關(guān)注度:

      1431

      產(chǎn)品介紹

      核心技術(shù):

      多站式(Multi-Stantion)設(shè)計(jì),系統(tǒng)具有優(yōu)異的膜厚均勻性;

      模組化機(jī)臺(tái)設(shè)計(jì)能夠針對(duì)客戶的需求做設(shè)計(jì);

      射頻功率設(shè)計(jì),使反應(yīng)物能在低溫的狀態(tài)下達(dá)到高速率的沉積,進(jìn)而提高產(chǎn)能;


      先進(jìn)性:

      具有多站式(Multi-Stantion)設(shè)計(jì),能夠?qū)崿F(xiàn)高重復(fù)性,使薄膜沉積的更加均勻;

      優(yōu)化RF功率,使薄膜應(yīng)力及反射率達(dá)到**數(shù)值


      產(chǎn)品咨詢

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