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      >超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列

      超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列

      超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列

      直接聯(lián)系

      青島佳鼎半導(dǎo)體

      山東

      產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
      參考報(bào)價(jià):

      面議

      品牌:

      佳鼎半導(dǎo)體

      型號(hào):

      超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列

      關(guān)注度:

      1481

      產(chǎn)品介紹

      現(xiàn)有機(jī)型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。

      "Regulus系列"繼承了現(xiàn)有機(jī)型的觀察和分析性能,配備SU8200系列的低噪音冷場(chǎng)發(fā)射電子槍,可以獲得高穩(wěn)定的束流。

      通過優(yōu)化電子光學(xué)系統(tǒng),Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm,Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。

      此外,為充分發(fā)揮超高分辨的能力,放大倍率也從過去的100萬(wàn)倍提升到200萬(wàn)倍。

      Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶支持功能,通過此功能用戶更容易理解各種復(fù)雜信號(hào)的檢測(cè)原理,幫助用戶充分發(fā)揮儀器的**性能。

      設(shè)備特點(diǎn)

      沿用"SU8200系列"的冷場(chǎng)發(fā)射電子槍

      采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間,使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的**性能

      (Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)

      采用污染小、高真空樣品倉(cāng)

      運(yùn)用能量過濾器(選配),可觀察到多種成分對(duì)比度

      設(shè)備規(guī)格


      項(xiàng)目Regulus 8100Regulus 8220Regulus 8230Regulus 8240
      二次電子分辨率0.7 nm
      (加速電壓15 kV)
      0.8 nm
      (著陸電壓1 kV)*3
      0.6 nm(加速電壓 15 kV)
      0.7 nm(著陸電壓 1 kV)*3

      著陸電壓0.1~2 kV0.01~20 kV
      放大倍率20~1,000,000倍*420~2,000,000倍*4
      樣品臺(tái)樣品臺(tái)控制3軸馬達(dá)臺(tái)(可選5軸馬達(dá)臺(tái))5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
      移動(dòng)范圍X0~50 mm0~50 mm0~110 mm0~110 mm
      Y0~50 mm0~50 mm0~110 mm0~80 mm
      R360°
      T-5~70°
      Z1.5~30 mm1.5~40 mm
      再現(xiàn)性---±0.5 μm以下含±0.5 μm


      產(chǎn)品咨詢

      超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列

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      超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列 - 1481
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