產品介紹

澤攸科技ZS系列臺階儀作為國產高精度表面測量設備的創新之作，憑借升級的技術架構、更廣泛的應用場景及更穩定的測量性能，可對微納結構進行膜厚和臺階高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量，在高校、研究實驗室和研究所、半導體和化合物半導體、高亮度 LED、太陽能、MEMS微機電、觸摸屏、汽車、醫療設備等行業領域有著深度應用。

作為國產科學儀器的進階成果，ZS系列臺階儀進一步鞏固了在高端表面測量設備領域的國產替代優勢，憑借更高精度表現與定制化服務優勢，成為國內高校、科研機構及高端制造企業的優選設備。

特點

量測精確、功能豐富、一體式集成、模塊化設計、售后便捷、極高性價比

應用范圍

▲ 刻蝕、沉積和薄膜等厚度測量

▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數測量

▲ 各式薄膜等應力測量

▲ 3D掃描成像

▲ 計劃任務和多點掃描

系統組成

▲ 一體式臺階儀

選配品

▲ 高度校準標樣

技術參數

軟件界面

掃描圖

18nm樣品

68um樣品