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      >電子束光刻機
      
			
      
			
      
				
			
      
		
      
		
		
      
			
      
				
      電子束光刻機
      
				
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      安徽澤攸科技有限公司
      
										
      安徽
      
					
					
					
                    						
      
			
      
			
      產品規格型號
      
			
      
				
      
	
      參考報價：
      面議
      
	
      品牌：
      安徽澤攸
      	
      型號：
      電子束光刻機
      	
      關注度：
      2041
      					
				
      
			
      
			
      產品介紹
      
			
      
				
      
					
        澤攸科技ZEL304G電子束光刻機（EBL）采用場發射電子槍，配合一體化的高速圖形發生系統實現對半導體晶圓的高速、高分辨光刻。該系統標配高精度激光干涉樣品臺，允許用戶實現大行程高精度拼接和套刻需求，在新材料、前沿物理研究、半導體、微電子、光子、量子研究領域發揮重要作用。
        產品特色
        ▲ 激光干涉樣品臺：先進的激光干涉樣品臺，滿足大行程高精度拼接和套刻需求
        ▲ 場發射電子槍：高分辨場發射電子槍是光刻質量的重要保證
        ▲ 圖形發生器：在保證超高速掃描的同時實現超高分辨率圖案繪制
        樣品臺指標
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      應用案例

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      電子束光刻機
      
						
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      電子束光刻機 - 2041
      
				
			
      
			
      
				
      
					
					
					
									
      
					
      
					
      
			
		
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