粉體行業(yè)在線展覽
MLS300超精密級水導激光加工系統(tǒng)
面議
MLS300超精密級水導激光加工系統(tǒng)
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適配高硬脆/高價值等多種材料加工
既能對陶瓷基板、晶圓、薄片合金等薄脆材料進行超精密加工,也可適配碳化硅、氮化硼、碳纖維、金剛石等厚硬材料,且切割深寬比可達30:1以上。
加工面光滑無毛刺,無需后續(xù)打磨拋光
借助高精度射流角度自動校準系統(tǒng),并配合±0.2MPa的精密水流壓力控制,保障切割面平整度。
**限度降低高價值材料的損耗
*小切割縫隙為25μm,有效減少材料浪費。
守護材料原有特性
穩(wěn)定的水流可實時為材料散熱,材料熱影響區(qū)≤5μm。
避免材料交叉污染
采用非接觸式加工方式,無機械應力產生,能有效規(guī)避因直接接觸導致的材料磨損與交叉污染問題。
更具環(huán)保安全性
加工過程中不產生粉塵及有害氣體,同時水流可直接沖走碎屑,確保工作區(qū)域始終保持清潔。
合規(guī)性保障
CE認證,且滿足SEMI S2安全規(guī)范要求。
碳基金剛石
銅基金剛石
氮化硼
氧化鋁陶瓷
激光傳導信號原理:
當聚焦至微細水射流內部的激光傳輸至水-氣邊界時,入射角小于全反射臨界角的激光能量皆發(fā)生全內反射傳輸現(xiàn)象。
基于上述特性,通過精準調控聚焦光斑尺寸和入射角,可使激光能量精準、穩(wěn)定的沿著水射流向前傳輸,達到材料表面實現(xiàn)高質高效加工。
芯片散熱貼裝系統(tǒng) SS400
散熱蓋貼裝系統(tǒng) SS200
全自動貼裝機 AC100
精密晶體管電源 JMS1000A/B
精密微壓力機頭 MF280RS
面板級點膠系統(tǒng) SS300
全自動點膠機 FS800系列
在線式視覺點膠機 FS600A/F
在線式視覺點膠機 GS600M
助焊劑點膠機 GS600SS
雙閥噴膠機 GS600DD
壓電噴射閥 PJS系列
熱絲CVD金剛石膜沉積設備HF450
XRD-晶向定位
CVD 真空化學氣相沉積設備
等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)CVD
BTF-1200C-RTP-CVD
自動劃片機
FM-W-PDS
Gasboard-2060
等離子化學氣相沉積系統(tǒng)-PECVD
Pentagon Qlll
定制-電漿輔助化學氣相沉積系統(tǒng)-詳情15345079037