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      >磨拋一體機 RGP200

      磨拋一體機 RGP200

      RGP200

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      吉姆西半導體科技(無錫)股份有限公司

      無錫

      產品規格型號
      參考報價:

      面議

      型號:

      RGP200

      關注度:

      119

      產品介紹

       設備特點

       適用于4/6/8寸晶圓的先進封裝/chiplet 等工藝/SOI襯底減薄拋光工序

       *厚可對應晶圓厚度在1800um(bonding wafer)

       薄可將晶圓加工至10um,  同時保持TTV≤1.5um

       可追加晶圓化學清洗模組,保證晶圓的表面潔凈度滿足fab工藝

       可配置MES協議轉換模塊SECS/GEM標準配置

       拋光部分終點檢測功能,精確控制*終厚度

       Polish head支持3zone/5zone

       可針對各類化合物半導體/第三代半導體的減薄/拋光


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      磨拋一體機 RGP200

      RGP200

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      磨拋一體機 RGP200 - 119
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