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      美國SVT束流規/束流計

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      產品介紹

      SVT公司的線性束流監控儀采用B-A離子規,用于在超高真空下測量束流。燈絲可以放在源的前面,用以獲取準確的數據來校準及監控工藝生長過程。

      儀器長度可以客戶定制,保證離子規有足夠的前后移動容域度,避免生長過程中各部件相互影響。LBFM系列是高精度MBE應用的理想選擇。

      B-A離子規

      可放置于UHV環境中

      烘烤溫度200 oC

      2.75’’4.5’’ CF 接口法蘭

      離子規隔離閥可選

      束流電壓

      10KV

      燈絲電流

      3A

      發射電流

      5A

      光學路徑范圍

      41/2’’CF

      光斑大小

      1.0mm (17’’/1075px距離)

      **烘烤溫度

      230 oC

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