AccuFlux 工藝監控儀是非侵入式在線束流監控儀并配有原子吸收譜儀。利用各元素特定的照射燈，AccuFlux 還可測量固態源及氣態源的氣相束流密度。此監控儀可同時監控4種材料。獨特的光學和電子設計，使速率精度<0.002nm/s。AccuFlux 具有自參考和自對準功能，即使儀器出現移位也不會影響監測。

AccuFlux 工藝監控儀可用在MBE及MOCVD上測量絕大多數材料。遠程控制裝置做為可選部件，是生產型應用的理想選擇。此裝置可提供擋板及源控制的信息實時反饋。不論生長設備上源（cell）的結構設計是線型還是共焦型，AccuFlux都可以使用。每種材料具有獨特的光源，因此該監控儀可在過壓環境下使用，例如GaAs，CIGS及氧化物的生長。

●創新的光學設計，能夠檢測速率*低為0.002nm/s

●針對各元素的高強度燈源

●可對固態及氣態源進行束流監控

●遠程控制可選，能夠實現閉環控制

●可以同時監控4種材料