美國SVT小型MBE

SVT 公司生產(chǎn)的SMART NanoFab MBE 具有體積小容量大的優(yōu)點(diǎn)。

可以多種生長模式集成于一個(gè)腔室。

桌面大小的超高真空腔室包含了一系列沉積源以及工藝監(jiān)控儀器的端口。

裝載室可以盛放多個(gè)樣品，便于在超干凈環(huán)境下操作樣品。

集成電子控制柜以及烘烤系統(tǒng)使操作系統(tǒng)非常簡便。

可容納4或8個(gè)源。

應(yīng)用

III-V，II-VI，II-Oxides，III-Nitrides以及其他材料；

想使用MBE并需要其他薄膜生長模式生長的材料

沉積源和檢測儀器

蒸發(fā)源

單坩堝以及多坩堝電子束蒸發(fā)源

RF等離子體源

激光器燒蝕源

濺射源

氣體入射源

RHEED以及RHEED分析軟件

AccuFlux 原位工藝監(jiān)控儀

QCM石英晶體速率監(jiān)控儀

線性束流監(jiān)控儀