晶硅太陽能電池表面鈍化用高產(chǎn)出原子層沉積系統(tǒng)

ALD for surface passivation of c-Si solar cells

應(yīng)用：

1.CIGS太陽能電池?zé)o鎘緩沖層沉積

2.晶硅太陽能電池表面鈍化層沉積

3.大規(guī)模生產(chǎn)的應(yīng)用

4.工業(yè)全自動生產(chǎn)設(shè)備

5.高產(chǎn)量：高達4500晶片/小時(156 X 156 m㎡)

特征：

1.良好的厚度＆均勻性好的Al2O3薄膜

2.用于短氣體循環(huán)時間的先進工藝套件和小體積

3.具體化的ALD機械裝置

4.全集成工藝模塊

5.操作過程簡單

6.自動式操作

技術(shù)規(guī)格：