晶圓尺寸:6/8英寸

Nafer size: 6/8 inches　ウェハーサイズ:６インチ～８インチ

溫度范圍:溫度200-800℃，溫度均勻性±3℃

Temperature 200-800 °Ｃ, temperature uniformity±3 °Ｃ

溫度範囲：溫度200-８００°Ｃ、許容溫度範囲±2℃

壓力:**20000N，力均勻性＜±1%

Pressure Maximum 20,000 N,Force Uniformity<±1%

圧力：**２0000Ｎ、力の均等性＜±1%

真空度:≤10Pa

Vacuum pressure:≤10Pa  真空度:≤10Pa

壓頭:柔性壓頭/硬性壓頭

Indenter: Flexible indenter/rigid indenter

圧子：軟性圧子/硬性圧子