粉體行業(yè)在線展覽
DUV/EUV光罩除塵機
面議
科毅科技
DUV/EUV光罩除塵機
274
項目 | 參數(shù) |
應用范圍 | 用于3~5~200nmEUV 同時兼容KrF/ArF |
配備 | 壓縮空氣濾清器、除靜電離子風、X-Ray除靜電系統(tǒng) |
風刀角度 | 可手動調(diào)整高度&角度 |
風量壓力控制 | 電子式氣壓控制 |
F54 自動化薄膜測繪
F50 系列 自動化薄膜測繪
ION WAVE 10 批次等離子系統(tǒng)
DektakXT探針式輪廓儀
臺式薄膜厚度測量系統(tǒng)
IoN 100 筒式等離子體反應器
三維光學輪廓儀
晶圓清洗蝕刻機
巨量轉(zhuǎn)移晶圓植球機
晶圓劃片機
LDI激光直寫光刻機
全自動勻膠/顯影設備