IoN 100 是一種筒式等離子體反應器，專為研發(fā)和生產應用而設計。該技術基于International Plasma Corporation、Branson ICP、Dionex、Gasonics、Metroline、TePla 和PVA TePla 在50 多年的時間里開發(fā)的經過驗證的反應器設計。IoN 100 使用更大的機箱，提供所有氣體和電源連接。

功能包括：

即插即用自安裝

柔性電極

帶液晶觸摸屏和鍵盤的工業(yè)計算機。

基于Windows 的操作系統。

圖形用戶界面(GUI) 軟件符合

CFR Title 21 Part 11 和Semi E95-1101

多級用戶訪問

軟件

用于快速和多功能步驟控制的配方編輯器

板載診斷功能和報警記錄

通過以太網進行遠程過程監(jiān)控

基于網絡的在線模擬/培訓/支持

機箱上的泵電源插座

節(jié)能功能—泵控制

典型應用：

表面清潔

表面活化

表面功能化

矽氧烷和有機薄膜的沉積